针对化工厂废气种类以及其中含有的成分，在对其进行处理的时候可以采用多种废气处理工艺进行净化，如光氧催化废气处理设备、低温等离子废气处理设备、RTO蓄热燃烧设备、活性炭吸附箱、水喷淋废气处理设备等。
首先，化工厂产生的废气经收集后进入喷淋塔废气处理设备中，经过填料层，废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应，用以去除酸性污染物及颗粒物。经过第一层净化后的废气进入到低温等离子废气处理设备中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
这种组合型废气处理工艺将两种废气处理设备相结合，更具有针对性，净化效果要比单一的废气处理设备更显著。化工厂废气处理的相关方法，可参考化工厂废气处理。