电子工业五个行业标准

水中的Ca外、Mg2+进入反应体系后，会和体系中的OH-生成Ca(OH)2、Mg(OH)：等微溶于水的杂质，Cl-则会腐蚀不锈钢设备。若水中还含有Fe斗、Cu2十等离子，在碱性体系下进入前驱体中后，会对前驱体品质产生很大影响。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MQ．cm、15MQ' cm、10MQ' cm、2MQ．cm、0.5MQ．cm，以区分不同水质。

(1)原水预处理原水的预处理系统包括石英砂过滤器和活性炭过滤器两部分。自来水首先通过石英砂滤床去除水中的悬浮物、凝聚后的片状物以及沉淀法不能去除的黏结胶体物质，降低原水浊度。然后再通过活性炭过滤器漶除去水中有机杂质和水中分子态胶体微细颗粒杂质，并吸附水中的余氯。

(2)反渗透除盐反渗透即Reverse Osmosis，简称RO。反渗透膜的孔径为0.0001～O.OOlym，可以截留水中的全部悬浮物质、大部分溶解性盐和大分子物质。该系统的主要作用是以压力为推动力，进行膜分离脱盐，同时可除去水中溶解性有机物、微生物、细菌、热原、病毒等。影响反渗透效率的因素有进水压力、水温、水的pH值、水中的盐浓度。

(3)混床离子交换混床的作用是将反渗透产水中留存的离子进一步去除。原水经过反渗透系统后，已将水中绝大部分的盐类离子去除，但是水质还不能达到系统产水需要的水质要求，还需要经过混床进行进一步去除后才能达到要求。混床通过交换器内均匀混合的阳、阴树脂，与水中的阳、阴离子几乎同时进行交换，类似于无数级阳、阴床串联的效果，从而获得极好的产水水质。大多数自来水经过上述几个工序处理后，都能达到生产三元材料前驱体的水质要求，但是有少数地区的自来水水质较差，需要根据具体情况增加处理工序。比如自来水中盐分较高，则使用一级反渗透无法完全去除水中的盐类离子，最好使用二级或者三级反渗透装置。有的自来水中钙镁离子较多，则晟好添加一个软化水装置，提前除去大部分的钙镁离子，减轻反渗透装置的负担。